防震台的使用概况

普通扫描电子显微镜（SEM）当安置到楼房高层（2层以上），或置于有强震动的场地时（例如附近地下有地铁，），高倍率3万倍以上观察、照相就无法进行。而必须使用震动隔离系统-防振台。场发射电镜（FEM）要在几十万倍观察和照相，对震动要求更高。即便安装在一楼，也都不能满足要求。一般都要求安装防振台。

我国当代制造技术高水平(12英寸、0.13微米)的**大规模集成电路生产线中芯国际北京项目于2012年9月29日正式启动。该项目总投资12.5亿美元,目前正在进行主体厂房和水、电、气等所有辅助设施建设,其中两个大型厂房和特种气体厂房于2013年年底封**。2004年初开始设备安装,2014年6月开始试生产。